電催化氧化工藝集低溫等離子體、微波放電、極板放電與一體，在實際使用中實現廢氣的有效處理是復雜的過程，整個過程在不到1秒的時間內完成。從理論到模型都能探究到相關的機理，通過三種方式的集中放電，廢氣分子從低能的E，在千分之一秒的時間內躍遷到足以使其電離的Em級，廢氣分子鍵充分斷裂，在雪崩式的撞擊中斷裂后的粒子由于質量更小，被進一步躍遷，與反應堆內的氧離子氫氧根離子發生反應，生成無害無味的CO2、H2O以及其它高價化合物。同時由于反應堆內臭氧以及紫外線的作用，徹底去除不同范疇的廢氣化合物，實地較為廣譜的去除空間。

去除污染物機理
等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：

(1)電場+電子→高能電子

(2)高能電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團)活性基團

(3)活性基團+分子(原子)→生成物+熱

(4)活性基團+活性基團→生成物+熱

   從以上過程可以看出，電子首先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。