三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x的導(dǎo)軌是保證機(jī)器平穩(wěn)，高精度運(yùn)動(dòng)的關(guān)鍵，目前主要采用


氣浮導(dǎo)軌及直線滾珠導(dǎo)軌兩種形式。
1． 氣浮導(dǎo)軌
    氣浮導(dǎo)軌的核心是氣浮軸承（空氣軸承），利用氣浮軸承小孔節(jié)流形


成氣腔內(nèi)的高壓，在導(dǎo)軌和氣浮軸承間形成具有一定承載能力和剛性的薄


膜。氣浮導(dǎo)軌具有無(wú)摩擦及無(wú)磨損的特性，由于勻差效應(yīng)，運(yùn)動(dòng)的局部直


線度及角度擺動(dòng)較小。精度較高的三次元定制一般采用氣浮導(dǎo)軌。
    氣浮軸承的性能有4個(gè)要求：即承載能力，承載剛性（氣浮間隙每變


化一微米承載能力的變化）、耗氣量、抗氣振能力。其他的要求還包括防


銹性能、安裝的工藝性，支承等的載荷設(shè)計(jì)亦不能忽略。對(duì)超高精度測(cè)量


機(jī)，氣浮間隙及氣腔壓力的穩(wěn)定至關(guān)重要，超高精度測(cè)量機(jī)往往設(shè)置氣浮


軸承壓力檢查引出孔。
2． 直線滾珠導(dǎo)軌
      采用直線滾珠導(dǎo)軌的優(yōu)點(diǎn)是省去全套壓縮空氣設(shè)備及氣動(dòng)控制組件


，成本較低，適于無(wú)氣源的環(huán)境。它剛性較好，承載能力強(qiáng)，比簡(jiǎn)單的滾


珠軸承，受個(gè)別滾珠疵瑕的影響要小，有一定的勻差效應(yīng)。但由于鋼球及


導(dǎo)軌原因，該結(jié)構(gòu)的測(cè)量?jī)x器精度稍低，摩擦力較大，因而控制性能亦與


氣浮導(dǎo)軌特性不同。它的安裝、調(diào)整找正對(duì)整機(jī)的性能的影響亦較大。
      導(dǎo)軌面不能劃傷，如果劃傷需專(zhuān)業(yè)人員來(lái)返廠維修，劃傷后如果繼


續(xù)使用會(huì)導(dǎo)致氣浮軸承與導(dǎo)軌面產(chǎn)生直接摩擦，損壞機(jī)器。更詳細(xì)請(qǐng)?jiān)L問(wèn)


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